在通常真空系統不須用液態便可產生特高真空，真空度可達10-10托（mm·Hg）。 真空油Vacoil-S 通用高真空油 獨特優點 ? 不須用液氮冷凍 ? 產生超高壓 ? 抗氧化，化學性質穩定 ? 暴露空氣中不受大氣影響 ? 抽真空速率快 ? 降低回流，避免污染 ? 真空液耗量低，經濟合算 ? 真空系統操作無故障 說明 Vacoil-S是在真空系統中設計用作理想擴散泵液的新型碳硅烷化合物。其化學組成和原子結構決定其具有非常低的蒸汽壓和極強的抗氧化性。當使用它作擴散泵液時，不需要用液氮進行額外冷凍便可以產生超高真空。用普通水冷卻設置便可以滿足要求。此產品抗氧化，無碳和焦油的形成和堵塞現象發生。Vacoil-S具有內在熱穩性，因此可暴露于空氣中不會分解。在解除真空前不需要對擴散泵進行冷卻。 Vacoil真空擴散泵液的性質 液體 | 澄清水白色液體 | 冰點 | -16℃ | 沸點（0.2托） | 225℃ | 蒸汽壓（托，20℃） | 1×10-10 | 蒸發熱 | （225℃）3K卡/克分子22K卡/克分子 | 回流 | | A）有捕獲 | 零 | B）無捕獲 | （gm/cm2/min）10-6gm10-6gm |
應用 真空擴散泵液Vacoil替代普通擴散泵液可使真空系統的操作無故障、經濟和效率更高。可以達到超高真空度10-10托。可應用Vacoil的類型真空系統包括：真空蒸發器、真空噴鍍金屬器、真空管排氣站、太空模擬室、真空濺射、真空爐、電子束設備、薄膜微電路、光學涂層和其他專業設備等。以Vacoil作擴散泵液，可以大大簡化對這些真空系統的操作和管理。使用這種擴散泵液可以避免液氮的使用，且隨意暴露在空氣中也不會變質。 對于經常啟動的真空系統尤其應當推薦使用Vacoil產品。在微電子真空作業和薄膜裝置作業中也推薦使用Vacoil產品，因為它可以消除擴散油蒸汽所經常造成的污染。 注釋：Vacoil用標準加熱器入口加入。設備不需要進行改造。操作溫度是225℃到250℃。以流動水用通常方式進行阻流冷卻。不需要使用液氮。 | 
