PRR-001和PRR-002 PRR-001 說明 陽性光刻膠去除劑PRR-001是由水溶性和可生物降解成分組成的一種專利混合物。PRR-001用來去除（溶解）烘烤在各種基體上（如砷化鎵、鉻、硅等）的普通陽性光刻膠，使用得當時，對各種金屬以氧化物表面無腐蝕作用。 PRR-001去除劑不含磷酸鹽、鉻酸鹽、苯酚、氯代烴和硫酸等，使用時無特別注意事項。PRR-001在室溫下使用性能良好，槽液壽命約為2000薄片/加侖。加溫時可以用來去除聚酰胺。成本去除一個薄片上的光刻膠為一美分。當貯放在避光的陰涼處時，有效期為一年。 化學性質和物理性質 外觀 | 淡黃色液體 | 比重（68℉） | 0.99±0.01 | 折射率（nD26.0℃） | 1.4271±0.0005 | PH（68℉） | 12.60±0.05 |
應用 槽液組成 對所有半導體操作都是全強度，噴涂或浸泡槽操作。 如果采用浸泡操作法，需在室溫攪拌3-5分鐘。亦可在加溫條件下（70-90℃）進行溶解。浸泡操作采用雙槽系統，噴液操作采用傳送帶設備。 沖洗 PRR-001全溶于水，沖洗時只需用去離子水。 槽液壽命 當去除光刻膠的操作時間超過15分鐘，或超過2000薄片/加侖時，槽液便要更換一次。 PRR-002 說明 陽性光刻膠去除劑PRR-002是一種由水溶性和可生物降解的成分組成的專利混合物。它可以去除所有用遠紫外線處理以便在進行離子注入，離子蝕刻或等離子體蝕刻的各種金屬基體上的一般陽性光刻膠。PRR-002在使用得當時，對各種金屬和氧化物表面無腐蝕作用。 PRR-002不含有磷酸鹽、鉻酸鹽、苯酚、氯代烴以及硫酸，用其進行處理時無特殊注意事項。PRR-002與所有聚四氟乙烯、聚丙烯和聚乙烯材料都相匹配。PRR-002在室溫和稍加溫情況下表面性能良好，可除去各種難以洗除的光刻膠。使用PRR-002明顯經濟合算。PRR-002應當貯放在避光的陰涼處，有效期6個月。 化學性質和物理性質 外觀 | 淡黃色液體 | 比重（68℉） | 0.97±0.01 | 折射率（nD22.5℃） | 1.4271±0.0005 | PH（68℉） | 12以上 | 過濾 | 0.2μ |
外觀 | 淡黃色液體 | 比重（68℉） | 0.99±0.01 | 折射率（nD26℃） | 1.4271±0.0005 | PH（68℉） | 12.60±0.05 |
應用 槽液組成 對多數半導體操作都是全強度。 建議用雙槽體系 1、對于標準光刻膠處理（90-140℃）：在55℃，3-5分鐘 2、對于遠紅外和硬光刻膠處理（150-200℃）：在55-90℃，每槽5-10分鐘 沖洗 PRR-002完全溶解于水，可僅用去離子水沖洗 槽液補充/更換 當去除光刻膠的操作時間超過15分鐘或處理量超過2000片/加侖時，便要更換去除劑。 1、要不斷補充去除劑以保持其容量 當每槽去除光刻膠的操作時間超過20分鐘時便要更換槽液 | 
