光掩膜涂料

防止粘滯現象和細孔產生的乳濁液光掩劑的可靠保護涂料。可以提高半導體裝置的效率和延長光刻膠光掩劑的壽命。

? 光掩膜的潤滑保護涂料——防止粘滯

? 阻止細孔的產生——防止電路短路和圖案模糊不清

? 提高半導體裝置效率

? 使用簡單方便——不需要特殊設備

? 安全、經濟

Transene光掩膜涂料-2060是設計用來延長光掩膜壽命、降低細孔密度的保護性高聚物涂料。涂上陰性光刻膠可以明顯提高一定數目觸點裝置的效率。用陽性光刻膠同樣可以提高其效率，雖然效果比陰性光刻膠稍差。當光掩膜中產生細孔時，由于光刻膠和光掩膜兩相分離時光刻膠粘附于光掩劑乳濁液體會使裝置效率和光掩膜壽命降低。細孔的存在會導致電路短路和裝置的精確性變差，從而降低其效率。在光掩膜上涂以Transene光掩膜涂料可以降低細孔密度并對光掩膜起保護作用。這種涂料是由潤滑高聚物和無毒的水-酒精溶劑配制成的。