鉬蝕刻劑和鎢蝕刻劑

TFM鉬蝕刻和TFW鎢蝕刻劑

本品為鉬和鎢的選擇蝕刻劑，可用于半導(dǎo)體和微電子技術(shù)。TFM和TFW選擇蝕刻劑是加有緩沖劑的呈中等堿性的氰化鐵基蝕刻劑，其蝕刻圖案分辯率高，邊下蝕低，與光刻膠有良好匹配性。采用浸泡或噴涂技術(shù)可達(dá)到控制性均勻的蝕刻效果。