本品為銀的選擇性蝕刻劑,與陰、陽性光刻膠相匹配,用于微電子薄膜蝕刻電路元件。 特點 ? 蝕刻易于控制,邊下蝕最低,蝕刻線路輪廓清晰 ? 在室溫下操作 ? 蝕刻速率均勻 ? 廉價經(jīng)濟 說明 銀蝕刻劑TFS在光刻法制作微電子線路中用于挑選蝕刻銀。和光刻膠聯(lián)合使用,該蝕刻劑可在鋁或其他基板的薄膜上制作出精密的電極和電阻圖案。其純度高、鈉含量低,0.2微米過濾,適宜用于半導(dǎo)體和微電子產(chǎn)品制作。 銀蝕刻劑TFS——不含氰的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品 | TFS | 操作溫度 | 室溫 | 通風(fēng) | 通風(fēng)櫥 | 攪拌 | 攪拌以提高蝕刻速率 | 蝕刻容器 | 玻璃 | 時刻速率,25℃ | 200?/秒 | 組成 | 含KI-I2絡(luò)合物, 隨手可用溶液 | PH,20℃ | | 密度,20℃ | | 沖洗 | 蒸餾水或去離子水 | 匹配光刻膠 | 陰性和陽性光刻膠 | 廢物處理 (從廢液中回收銀) | 根據(jù)國家規(guī)定的章程進(jìn)行處理。把廢液送到適當(dāng)廢物處理廠 |
雜質(zhì)最大含量 | (ppm) | 鈉(Na) | 40 | 氯和溴化物(Cl) | 100 | 鉛(Pb) | 5 | 鐵(Fe) | 3 | 硫(作為硫酸鹽) | 50 | 磷(作為磷酸鹽) | 10 |
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